芯片厂VOCs废气治理建议使用沸石转轮设备

  如今新的《大气污染防治法》、《大气污染防治行动计划》、《挥发性有机物(VOCs)污染防治技术政策》等法规的陆续颁布,我国对VOCs处理标准和力度逐步增强。剥离液、稀释液等其造成的有机废气具有大风量、低浓度芯片制造业因为大量采用有机溶液作为清洗剂、光刻胶等特点。

  为了更好地有效地处理此类VOCs废气,沸石转轮吸附浓缩法成为了行之有效的优选处理方案。沸石转轮采用沸石分子筛作为吸附剂,具有耐高温、较高机械强度等性能,可以满足连续吸咐、脱附的需求。针对不同的VOCs成份,应有目的性地选用吸附效率高的沸石分子筛作为吸附剂,才能达到理想的、高效的VOCs处理效果。

  因此,文中以芯片厂为调查样本,研究其VOCs废气成份,为其沸石转轮系统的沸石分子筛选择提供值得借鉴的方案和建议。现阶段芯片制造业涉及挥发性有机物包括:异丙醇、丙酮、二甘醇胺、二甲基乙酰胺、丙二醇单甲醚乙酸酯(PMG)、乙二酸、醋酸等。

  研究人员对沸石吸附剂对芯片制造业有机废气的吸附等温线研究结果显示:沸石分子筛对该行业有机废气具有较高的吸附容量和吸附效率,属于有利的吸附等温线。此外,沸石分子筛还具有耐高温、机械强度高等性能,在处理VOCs废气方面具有较高的综合性能。其中,异丙醇是芯片生产制造过程中最常用的清洗剂;PMG是稀释剂、光刻胶等物质的主要成分。两者的年消耗量巨大,仅上海某芯片工厂,这2种物质的年用量以百吨计,是其VOCs有机废气中的主要污染物。
  广东威利斯娱乐APP环境科技有限公司生产的沸石转轮催化燃烧装置吸附选择性强,运行成本低,使用寿命长,维护成本低,吸附脱附可连续运行,脱附达到能循环状态节约能耗等优点。预处理过滤效率大于99%,净化效率高于95%,整个装置采用模组化设计,满足了小空间的需求,且提供持续及无人化的操控模式。搭载了威利斯娱乐APP云服务系统,实时远程监控设备的运行状况,采集并记录设备的运行数据,有专业人员对数据进行分析,共享给用户,让用户随时了解设备运行状况,并提出合理的运行建议,必要时主动迅速的为用户提供服务,及时为客户解决问题。

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